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微電子技術(shù)的飛躍發(fā)展,使得各種半導體芯片的集成度越來越高,同時芯片的體積趨向于小型化及微型化,這些都對芯片的檢測提出了較高的要求。
晶圓是常用的半導體材料,按其直徑分為4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等規(guī)格,工藝水平不同,晶圓可能會在生產(chǎn)階段出現(xiàn)三種缺陷:冗余物、晶體缺陷和機械損傷,由于電子產(chǎn)品自身的精密性要求,極有必要對晶圓進行100%可靠的檢查,及時有效的將不良產(chǎn)品剔除,保證最終的產(chǎn)品質(zhì)量。
在晶圓處理環(huán)節(jié)中,硅片檢測可以通過康耐德機器視覺系統(tǒng)檢測:
表面顆粒/劃傷/DIE丟失/破裂/崩邊/關(guān)鍵尺寸檢測等缺陷,采用前沿的AI目標檢測算法,實現(xiàn)全自動檢測缺陷并分類標記,檢測缺陷的精度可達1微米,兼容性強,適應(yīng)不同尺寸的晶圓。
通過借助康耐德高精密的機器視覺檢測技術(shù)來識別晶圓的外觀的不良和缺陷,將檢測信息反饋至生產(chǎn)環(huán)節(jié)優(yōu)化生產(chǎn)工藝,節(jié)省企業(yè)生產(chǎn)成本,實現(xiàn)良率提升、質(zhì)量提高,成本控制直接提升了半導體制造廠商的市場競爭能力
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在高精密加工過程中,機器視覺技術(shù)主要扮演了檢測與控制的雙重角色。一方面,通過高精度的圖像捕捉和處理,機器視覺技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)對加工工件的微米甚至納米級檢測。一方面,通過高精度的圖像捕捉和處理,機器視覺技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)對加工工件的微米甚至納米級檢測。
?在現(xiàn)代自動化流水線生產(chǎn)中,機器視覺系統(tǒng)正發(fā)揮著越來越重要的作用,特別是在零件正反面識別與定位方面。這一技術(shù)的應(yīng)用,不僅極大地提高了生產(chǎn)效率,還確保了產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。
基于機器視覺的表面缺陷檢測系統(tǒng)雖然已經(jīng)在多個領(lǐng)域取得了顯著成果,但仍面臨一系列問題和難點,尤其是在線檢測環(huán)境中。
3D視覺檢測技術(shù),依托三維光學掃描系統(tǒng),展現(xiàn)出了其在多個領(lǐng)域的顯著優(yōu)勢。其應(yīng)用范疇廣泛,涵蓋了逆向設(shè)計、產(chǎn)品檢測以及其他多元化應(yīng)用。
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